Globaler Marktbericht zu Größe, Anteil und Trends von Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräten – Branchenüberblick und Prognose bis 2032

Marktgröße für Halbleiterprozesssteuerungsgeräte

• Der globale Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte hatte im Jahr 2024 einen Wert von 10,34 Milliarden US-Dollar und dürfte bis 2032 einen Wert von 16,60 Milliarden US-Dollar erreichen , bei einer CAGR von 6,10 % im Prognosezeitraum.
• Das Marktwachstum wird maßgeblich durch die steigende Nachfrage nach hochpräzisen Halbleiterbauelementen und die Einführung fortschrittlicher Prozessknoten vorangetrieben, was den Bedarf an hochentwickelter Prozesssteuerungsausrüstung bei Gießereien, Herstellern integrierter Bauelemente und Speicherinfrastrukturen erhöht.
• Darüber hinaus beschleunigen steigende Investitionen in Halbleiterfertigungsanlagen, der zunehmende Fokus auf Ertragssteigerungen sowie die Integration von Automatisierungs- und KI-gesteuerten Mess- und Inspektionssystemen die Einführung von Prozesssteuerungslösungen und kurbeln damit das Wachstum der Branche deutlich an.

Marktanalyse für Halbleiterprozesssteuerungsgeräte

• Zu den Prozesssteuerungssystemen für Halbleiter gehören Messsysteme, Inspektionssysteme und zugehörige Werkzeuge zur Überwachung, Messung und Optimierung von Wafer- und Chip-Herstellungsprozessen. Diese Systeme gewährleisten Prozesskonsistenz, Fehlererkennung und hochwertige Ergebnisse für fortschrittliche Halbleiterknoten.
• Die steigende Nachfrage nach Prozesssteuerungsgeräten wird vor allem durch die schnelle Expansion der Halbleiterfertigung, die Komplexität moderner Halbleiterbauelemente und die zunehmende Betonung von Ertragssteigerung, Präzision und Effizienz in den globalen Halbleiterfabriken angetrieben.
• Der asiatisch-pazifische Raum dominierte den Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte mit einem Anteil von 65,4 % im Jahr 2024 aufgrund der schnellen Expansion der Halbleiterfertigung, der zunehmenden Einführung fortschrittlicher Prozessknoten und der starken Präsenz großer Gießereien in der Region.
• Nordamerika dürfte im Prognosezeitraum die am schnellsten wachsende Region im Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte sein, aufgrund der starken Nachfrage nach Hochleistungs-Halbleiterbauelementen, fortlaufender Technologie-Upgrades und der zunehmenden Einführung von Automatisierung in Fabriken.
• Das Segment Messsysteme dominierte den Markt mit einem Marktanteil von 45,5 % im Jahr 2024 aufgrund seiner entscheidenden Rolle bei der präzisen Messung und Überwachung von Halbleiterwafern während des gesamten Herstellungsprozesses. Halbleiterhersteller setzen auf Messsysteme, um hohe Ausbeuten zu gewährleisten, Defekte zu minimieren und strenge Prozesskontrollstandards einzuhalten. Die starke Nachfrage nach diesem Segment wird auch durch die zunehmende Komplexität von Halbleiterbauelementen und den Bedarf an präziser Charakterisierung im Nanometerbereich befeuert. Darüber hinaus sind Messsysteme hochkompatibel mit fortschrittlichen Halbleiterfertigungstechnologien und unterstützen die Echtzeit-Prozessoptimierung sowie die Integration in automatisierte Fertigungslinien. Ihre Verbreitung wird zusätzlich durch Fortschritte in der optischen, Elektronen- und Röntgenmesstechnik gefördert, die Präzision und Effizienz steigern.

Berichtsumfang und Marktsegmentierung für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte 

Markttrends für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte

„Zunehmender Einsatz von KI in der Messtechnik und Inspektion“

• Der Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte erlebt einen tiefgreifenden Wandel durch die Integration künstlicher Intelligenz (KI) in Mess- und Inspektionssysteme. KI-gesteuerte Tools verbessern die Fehlererkennung, Prozessoptimierung und prädiktive Analytik und ermöglichen es Herstellern, mit der zunehmenden Komplexität fortschrittlicher Halbleiterbauelemente Schritt zu halten.
• So hat die KLA Corporation beispielsweise KI-gestützte Inspektionsplattformen eingeführt, die hochauflösende Bilder und prädiktive Fehleranalysen ermöglichen und so die Produktion von Chips der nächsten Generation unterstützen. Applied Materials nutzt KI-Lösungen auch in seinen Messwerkzeugen, um die Wafermustererkennung zu verbessern und die Variabilität in der Halbleiterfertigung zu reduzieren.
• KI-Technologien ermöglichen es Mess- und Prüfgeräten, große Mengen an Prozessdaten in Echtzeit zu analysieren. Dies erhöht die Ausbeute und reduziert kostspielige Produktionsverzögerungen. Durch die schnellere Identifizierung von Mikrodefekten und Musterabweichungen gewährleistet KI eine strengere Qualitätskontrolle in kritischen Phasen wie der Lithografie und dem Ätzen.
• Die zunehmende Miniaturisierung integrierter Schaltkreise erfordert Inspektionssysteme, die Defekte im Nanometerbereich erkennen können. Die Integration von KI trägt diesem Bedarf Rechnung, indem sie die Bildinterpretation verbessert, die Empfindlichkeit steigert und eine automatisiertere und genauere Defektklassifizierung ermöglicht, was für Chiparchitekturen mit hoher Dichte von entscheidender Bedeutung ist.
• Diese KI-gestützten Fortschritte unterstützen zudem die vorausschauende Wartung und intelligente Diagnose durch die Analyse von Gerätezustandsdaten. Dies reduziert Ausfallzeiten, optimiert die Auslastung und steigert die Gesamtproduktionseffizienz. Dies macht sie zu äußerst wertvollen Anlagen in wettbewerbsintensiven Halbleiterfertigungsumgebungen.
• Der zunehmende Einsatz von KI in Messtechnik und Inspektion signalisiert einen langfristigen Wandel hin zur intelligenten Halbleiterfertigung. Durch die Kombination von Präzision und Vorhersagefähigkeiten werden KI-gestützte Steuergeräte zu einem zentralen Faktor für die Skalierung der modernen Halbleiterproduktion bei gleichzeitiger Kostensenkung und hohen Ausbeuten.

Marktdynamik für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte

Treiber

„Steigende Nachfrage nach fortschrittlichen Halbleiterbauelementen“

• Die steigende Nachfrage nach hochentwickelten Halbleiterbauelementen in Branchen wie Computertechnik, Automobilindustrie, Unterhaltungselektronik und Telekommunikation ist ein Haupttreiber für den Markt für Prozesssteuerungsgeräte. Da Chiparchitekturen immer kleiner und komplexer werden, steigt die Nachfrage nach hochpräzisen Steuerungssystemen weiter an.
• So unterstützt ASML beispielsweise die fortschrittliche Chipproduktion mit modernsten Mess- und Inspektionslösungen, die es Geräteherstellern ermöglichen, die Leistungs- und Dichteanforderungen der nächsten Prozessorgeneration zu erfüllen. Unternehmen wie Hitachi High-Tech investieren ebenfalls in Prozessinspektionssysteme, um führende Gießereien und IDMs zu beliefern, die hochwertige Halbleiterchips produzieren.
• Fortschrittliche Halbleiterbauelemente wie 5G-Chipsätze, KI-Beschleuniger und Prozessoren für die Automobilindustrie erfordern eine fehlerfreie Produktion, um eine gleichbleibende Leistung zu gewährleisten. Prozesssteuerungsgeräte ermöglichen es Herstellern, Abweichungen während der Fertigung zu erkennen und zu korrigieren und so die Skalierbarkeit für die Massenproduktion sicherzustellen.
• Die Nachfrage nach leistungsstarken Bauelementen erhöht die Komplexität der Wafer und erfordert präzise Geräte für Prozessstabilität und Designvalidierung. Mess- und Inspektionslösungen entwickeln sich zu unverzichtbaren Hilfsmitteln, um die Einhaltung enger Fehlertoleranzen in der hochmodernen Chipproduktion zu gewährleisten.
• Die weltweit steigende Nachfrage nach Hochleistungschips unterstreicht die Bedeutung von Prozesssteuerungslösungen. Diese Tools werden für die Qualitätssicherung, die Verkürzung von Zykluszeiten und die Sicherung der Wettbewerbsfähigkeit von Halbleiterherstellern in einem innovationsgetriebenen Ökosystem unverzichtbar.

Einschränkung/Herausforderung

„Hohe Kosten und Integrationskomplexität der Ausrüstung“

• Die hohen Kosten für die Prozesssteuerung von Halbleitern stellen eine große Herausforderung dar, da die für Inspektion und Messtechnik erforderliche anspruchsvolle Hardware, fortschrittliche Sensoren und KI-gesteuerte Software die Investitionsausgaben in die Höhe treiben. Diese Kosten stellen insbesondere für kleinere Hersteller und Neueinsteiger in die Halbleiter-Wertschöpfungskette Hürden dar.
• So sind beispielsweise die fortschrittlichen Inspektionsplattformen von KLA zwar für die Fehlererkennung unerlässlich, kosten aber einen hohen Preis, was die Einführung für mittelständische Fabriken mit begrenztem Budget erschwert. Die Integration solch komplexer Systeme in bestehende Produktionslinien erhöht sowohl die Kosten als auch die Betriebsunterbrechungen während der Einführungsphase.
• Die Komplexität der Integration wird durch die Heterogenität der Halbleiterfertigungsprozesse noch verstärkt. Die Gewährleistung der Kompatibilität zwischen verschiedenen Werkzeugen, Wafergrößen und Gerätearchitekturen erfordert individuelle Anpassungen, technisches Know-how und längere Bereitstellungszeiträume. Dies erhöht das Betriebsrisiko und verlangsamt die Modernisierungsbemühungen.
• Kleinere Halbleiterhersteller stehen oft vor der Herausforderung, hohe Investitionen in die Ausrüstung zu rechtfertigen, ohne über beträchtliche Produktionsmengen zu verfügen. Dies schränkt ihre Wettbewerbsfähigkeit gegenüber führenden Fertigungsunternehmen ein, die sich umfangreiche Prozesssteuerungslösungen leisten und Ertragsvorteile erzielen können.
• Um diese Herausforderungen zu bewältigen, müssen die Anlagenkosten durch innovative Fertigungsmethoden, modulares Technologiedesign und erweiterte serviceorientierte Geschäftsmodelle gesenkt werden. Die Vereinfachung der Integration mit flexiblen, skalierbaren Lösungen ist entscheidend, um einen breiteren Zugang zu Prozesssteuerungsanlagen zu gewährleisten und das Wachstum der Halbleiterindustrie zu sichern.

Marktumfang für Halbleiterprozesssteuerungsgeräte

Der Markt ist nach Typ und Anwendung segmentiert.

• Nach Typ

Der Markt für Prozesssteuerungsgeräte für Halbleiter ist nach Typ in Messsysteme, Inspektionssysteme und andere Typen unterteilt. Das Segment Messsysteme hatte im Jahr 2024 mit 45,5 % den größten Marktanteil, was auf seine entscheidende Rolle bei der präzisen Messung und Überwachung von Halbleiterwafern während des gesamten Herstellungsprozesses zurückzuführen ist. Halbleiterhersteller verlassen sich auf Messsysteme, um eine hohe Ausbeute zu gewährleisten, Defekte zu minimieren und strenge Prozesskontrollstandards einzuhalten. Die starke Nachfrage nach diesem Segment wird auch durch die zunehmende Komplexität von Halbleiterbauelementen und den Bedarf an genauer Charakterisierung im Nanometerbereich befeuert. Darüber hinaus sind Messsysteme hochgradig kompatibel mit fortschrittlichen Halbleiterfertigungstechnologien und unterstützen die Echtzeit-Prozessoptimierung und die Integration in automatisierte Fertigungslinien. Ihre Einführung wird durch Fortschritte in der optischen, Elektronen- und Röntgenmesstechnik, die Präzision und Effizienz verbessern, weiter gefördert.

Das Segment Inspektionssysteme wird voraussichtlich zwischen 2025 und 2032 das schnellste Wachstum verzeichnen, getrieben durch die steigenden Anforderungen an die Fehlererkennung und Qualitätssicherung in der modernen Halbleiterfertigung. Inspektionssysteme bieten Herstellern eine detaillierte Fehlerkartierung auf Wafer- und Chipebene, wodurch Prozessprobleme frühzeitig erkannt und Produktionsverluste reduziert werden können. Das Wachstum wird zusätzlich durch die Einführung von KI- und Machine-Learning-basierten Inspektionslösungen unterstützt, die die Erkennungsgenauigkeit und den Durchsatz verbessern. Die steigende Produktion von Hochleistungschips und die Miniaturisierung von Halbleiterknoten tragen ebenfalls zur zunehmenden Verbreitung von Inspektionssystemen bei. Ihre Fähigkeit, komplexe Fertigungsprozesse in Gießereien und IDM-Anlagen zu unterstützen, erhöht ihre Relevanz in der sich entwickelnden Halbleiterlandschaft.

• Nach Anwendung

Der Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsanlagen ist nach Anwendung in Gießereien, Hersteller integrierter Geräte (IDMs) und Speicherinfrastrukturen unterteilt. Das Gießereisegment hatte 2024 den größten Marktanteil, was auf die schnelle Expansion der Auftragsfertigung von Halbleitern und die steigende Nachfrage nach fortschrittlichen Chips in den Bereichen Automobil, Unterhaltungselektronik und Telekommunikation zurückzuführen ist. Gießereien sind in hohem Maße auf Prozesssteuerungsanlagen angewiesen, um eine gleichbleibende Qualität zu gewährleisten, die Waferausbeute zu maximieren und strenge Industriestandards einzuhalten. Das Segment profitiert von laufenden Investitionen in modernste Prozesstechnologien, einschließlich fortschrittlicher Knoten unter 5 nm, bei denen eine präzise Steuerung entscheidend ist. Darüber hinaus beschleunigt die Zusammenarbeit zwischen Gießereien und Anlagenlieferanten die Entwicklung maßgeschneiderter Lösungen für die Massenfertigung und sichert so die anhaltende Marktdominanz.

Das Segment der Hersteller integrierter Bauelemente (IDMs) wird voraussichtlich zwischen 2025 und 2032 die höchste durchschnittliche jährliche Wachstumsrate verzeichnen. Dies ist auf ihre Doppelrolle in Chipdesign und -produktion zurückzuführen, die umfassende Prozessüberwachungs- und Fehlermanagementlösungen erfordert. IDMs setzen fortschrittliche Prozesssteuerungsgeräte ein, um Abläufe zu optimieren, Produktionsschwankungen zu reduzieren und schnelle Innovationszyklen zu unterstützen. Das Wachstum wird zusätzlich durch die zunehmende Komplexität von Halbleiterbauelementen, wie z. B. System-on-Chip (SoC)-Architekturen, die integrierte Mess- und Inspektionslösungen erfordern, vorangetrieben. Darüber hinaus fördern steigende Investitionen in intelligente Fertigung und automatisierte Halbleiterfabriken den Einsatz von Prozesssteuerungsgeräten in IDM-Anlagen.

Regionale Analyse des Marktes für Halbleiterprozesssteuerungsgeräte

• Der asiatisch-pazifische Raum dominierte den Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte mit dem größten Umsatzanteil von 65,4 % im Jahr 2024, getrieben durch die schnelle Expansion der Halbleiterfertigung, die zunehmende Einführung fortschrittlicher Prozessknoten und die starke Präsenz großer Gießereien in der Region.
• Das kosteneffiziente Fertigungsökosystem der Region, steigende Investitionen in Halbleiterfertigungsanlagen und wachsende Exporte von Speicher- und Logikchips beschleunigen das Marktwachstum
• Die Verfügbarkeit qualifizierter Ingenieurtalente, günstige staatliche Anreize für die Halbleiterforschung und -entwicklung sowie die schnelle Industrialisierung in Entwicklungsländern tragen zu einer stärkeren Verbreitung von Prozesssteuerungsgeräten bei.

Markteinblick in Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte in China

China hielt 2024 den größten Anteil am asiatisch-pazifischen Markt, was auf seine führende Position in der Halbleiterfertigung und sein starkes Foundry-Ökosystem zurückzuführen ist. Regierungsinitiativen zur Förderung der Chip-Autarkie sowie umfangreiche Investitionen in hochmoderne Fertigungsanlagen treiben die Nachfrage nach Prozesssteuerungsgeräten an. Chinas robuster, exportorientierter Halbleitersektor und der Fokus auf Technologien der nächsten Generation, einschließlich 5-nm- und darunter-Knoten, stärken die Marktexpansion weiter.

Einblicke in den Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte in Indien

Indien verzeichnet das schnellste Wachstum im asiatisch-pazifischen Raum. Begünstigt werden dies durch wachsende Halbleiterfertigungsprojekte, steigende Auslandsinvestitionen und die staatliche Unterstützung von „Make in India“-Initiativen. Der Bau neuer Halbleiterfabriken, die Entwicklung von Elektronikclustern und die zunehmende Konzentration auf hochwertige Speicher- und Logikchips treiben die Nachfrage nach Prozesssteuerungslösungen an. Der Ausbau der F&E-Infrastruktur und strategische Partnerschaften mit globalen Zulieferern unterstützen die Marktbeschleunigung zusätzlich.

Einblicke in den europäischen Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte

Der europäische Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsanlagen wächst stetig, unterstützt durch Investitionen in fortschrittliche Halbleitertechnologien, hochwertige Fertigungsstandards und die Einhaltung gesetzlicher Vorschriften. Die Region legt Wert auf Präzision, Zuverlässigkeit und nachhaltige Produktionsverfahren, insbesondere für Anwendungen in den Bereichen Automobil, Industrie und Hochleistungsrechnen. Die Zusammenarbeit zwischen europäischen Gießereien, IDMs und Anlagenanbietern fördert die Einführung fortschrittlicher Mess- und Prüfsysteme.

Markteinblick in Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte in Deutschland

Der deutsche Markt wird durch sein starkes Ökosystem für Halbleiterausrüstung, den Fokus auf Automobil- und Industrieanwendungen sowie etablierte F&E-Netzwerke angetrieben. Das Land legt Wert auf Präzisionsfertigung, kontinuierliche Prozessoptimierung und hochwertige Halbleiterproduktion, insbesondere für Leistungsbauelemente und Chips für die Automobilindustrie. Partnerschaften zwischen Universitäten und Industrieunternehmen fördern Innovationen bei Prozesssteuerungslösungen und stärken Deutschlands führende Position.

Einblicke in den britischen Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte

Der britische Markt profitiert von Investitionen in die Halbleiterforschung, der Lokalisierung der Hightech-Fertigung und der steigenden Nachfrage nach Präzisionsmesstechnik und Prüflösungen. Staatliche Anreize, die Zusammenarbeit zwischen Wissenschaft und Industrie sowie der Fokus auf fortschrittliche Chiptechnologien fördern die Einführung von Prozesssteuerungsgeräten. Nischenanwendungen in der Photonik, Automobilhalbleitern und fortschrittlicher Elektronik kurbeln die Nachfrage zusätzlich an.

Einblicke in den Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte in Nordamerika

Nordamerika wird voraussichtlich von 2025 bis 2032 die höchste durchschnittliche jährliche Wachstumsrate aufweisen. Grund hierfür sind die starke Nachfrage nach leistungsstarken Halbleiterbauelementen, kontinuierliche Technologie-Upgrades und die zunehmende Automatisierung in den Fertigungsstätten. Das Wachstum wird durch erhebliche Investitionen in die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterknoten, Halbleiter-F&E-Zentren und die Rückverlagerung der Chipproduktion vorangetrieben. Die zunehmende Zusammenarbeit zwischen Gießereien, IDMs und Geräteherstellern beschleunigt die Marktexpansion.

Einblicke in den Markt für Prozesssteuerungsgeräte für Halbleiter in den USA

Die USA hatten 2024 den größten Anteil am nordamerikanischen Markt, was auf ihre führende Position in der Halbleiterentwicklung und -fertigung, ihre robuste Forschungs- und Entwicklungsinfrastruktur sowie den hohen Einsatz moderner Prozesssteuerungsgeräte zurückzuführen ist. Der Fokus des Landes auf Innovation, Präzisionsfertigung und hochwertige Halbleiterproduktion treibt die Nachfrage an. Die Präsenz wichtiger globaler Ausrüstungslieferanten, hochmoderner Fertigungsanlagen und die starke staatliche Unterstützung festigen die führende Position der USA in der Region weiter.

Marktanteil von Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräten

Die Branche der Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte wird hauptsächlich von etablierten Unternehmen angeführt, darunter:

• Applied Materials, Inc. (USA)
• Hitachi High-Technologies Corporation. (Japan)
• KLA Corporation (USA)
• Carl Zeiss AG (Deutschland)
• Lasertec Corporation (Japan)
• Nanometrics Incorporated. (Kanada)
• Nova Measuring Instruments Ltd. (Israel)
• Rudolph Technologies. (USA)
• TORAY ENGINEERING Co., Ltd. (Japan)

Neueste Entwicklungen auf dem Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte

• Im August 2025 übernahm Haylo Labs, eine britische Venture-Gruppe, Plessey Semiconductors, einen führenden Innovator im Bereich der MicroLED-Displaytechnologie. Die Übernahme, finanziert durch ein 100-Millionen-Dollar-Darlehen des chinesischen Technologieunternehmens Goertek, zielt darauf ab, Großbritanniens Position im Bereich Immersive Computing und Zukunftstechnologie zu stärken. Plesseys Expertise in der MicroLED-Technologie soll die Entwicklung fortschrittlicher Halbleiterlösungen vorantreiben und zum Wachstum des Marktes für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte in der Region beitragen.
• Im Juli 2025 eröffnete die KLA Corporation ein neues, 22.500 Quadratmeter großes Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionszentrum in Newport, Wales. Diese 138 Millionen Dollar teure Anlage soll globale Halbleiterinnovationen unterstützen und die Nachfrage nach fortschrittlichen Verpackungs- und Waferverarbeitungsanlagen decken. Die Eröffnung dieser Anlage unterstreicht KLAs Engagement für die Weiterentwicklung von Halbleiterprozesssteuerungstechnologien und den Ausbau seiner Fertigungskapazitäten, um den wachsenden Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden.
• Im Juni 2024 gab Axcelis Technologies Inc. die Eröffnung neuer Servicebüros in Chitose (Hokkaido) und Kumamoto (Kyushu) bekannt, um seinen wachsenden Kundenstamm in Japan zu unterstützen. Dieser strategische Schritt zielt darauf ab, die Marktpräsenz von Axcelis zu stärken und japanische Kunden in der Halbleiterfertigung durch verbesserten Support für seine Hochleistungs-Ionenimplantationssysteme und andere Halbleiterfertigungswerkzeuge besser zu bedienen.
• Im Juli 2024 schloss die IDEX Corporation die Übernahme der Mott Corporation ab. Damit erweitert IDEX seine Kompetenzen in der angewandten Materialwissenschaft im Bereich hochpräziser Filtrations- und Durchflussregelungssysteme. Die Übernahme soll das Produktportfolio von IDEX erweitern und seine Position im Markt für Halbleiter-Prozesssteuerungsgeräte durch die Integration der Expertise von Mott in seine Geschäftstätigkeit stärken.
• Im Februar 2023 stellte Applied Materials sein Messsystem VeritySEM 11 vor, das für fortschrittliche Halbleiterknoten entwickelt wurde. Dieses System verbessert die Prozesssteuerung durch hochpräzise Messungen, die für Sub-5-nm-Technologieknoten entscheidend sind. Die Einführung dieses Messsystems unterstreicht das Engagement von Applied Materials für die Weiterentwicklung von Halbleiterprozesssteuerungstechnologien und unterstützt den Trend der Branche hin zu kleineren und komplexeren Halbleiterbauelementen.

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