亞太地區靜電吸盤市場規模、份額及趨勢分析報告－產業概況及2032年預測

靜電吸盤市場規模

• 2024 年亞太地區靜電吸盤市場規模為216.8 億美元，預計到 2032 年將達到 301 億美元，預測期內 複合年增長率為 4.8%。
• 這一增長是由中國、日本、韓國和台灣等國家和地區在半導體製造業佔據主導地位，以及消費性電子產品需求的不斷增長和可再生能源應用的進步所推動的。

靜電吸盤市場分析

• 靜電吸盤市場包括在微影、蝕刻和沈積等半導體製造過程中使用靜電力牢固地固定基板（主要是矽晶片）的設備，具有高精度和最小污染的特性。
• ESC 的需求主要受到亞太地區在半導體生產領域的領先地位的推動，該地區將在 2024 年佔全球半導體產量的 70%，並且消費電子產品的增長，2024 年全球智慧型手機出貨量將達到 15 億部，主要在亞太地區製造。
• 由於中國擁有廣泛的半導體製造設施和「中國製造2025」等政府舉措，預計中國將在亞太靜電吸盤市場佔據主導地位，到2025年將佔據35.0%的市場份額。
• 由於三星和 SK 海力士等主要公司對先進半導體技術的投資，預計韓國將成為預測期內成長最快的國家。
• 由於 ESC 在半導體生產精密晶圓處理中發揮關鍵作用，預計到 2025 年，半導體 LCD/CVD 領域將佔據市場主導地位，市場份額達到 60.0%。

報告範圍和靜電吸盤市場細分

靜電吸盤市場趨勢

“先進ESC在EUV光刻和5G應用中的應用”

• 亞太地區靜電吸盤市場的一個突出趨勢是越來越多地採用專為極紫外 (EUV) 光刻和 5G 應用而設計的先進 ESC，這些應用需要高精度和熱均勻性，預計 EUV 部分在預測期內的複合年增長率為 6.0%。
• 庫侖型部分預計將在 2025 年佔據 65.0% 的最高市場份額，這得益於其卓越的靜電力以及與 3D NAND 和 5G 晶片生產等先進半導體製程的兼容性。
  • 例如，2024年，韓國一家半導體製造商採用庫侖型ESC進行EUV微影，將晶圓處理效率提高了12％。
• 這一趨勢推動了對創新 ESC 的需求，從而支持該地區在尖端半導體技術領域的領導地位。

靜電吸盤市場動態

司機

“半導體製造和消費性電子產品的主導地位”

• 亞太地區在半導體製造業佔據主導地位，中國、日本、韓國和台灣等國家和地區生產了全球 70% 的半導體，消費電子產品產量激增，2024 年全球智慧型手機出貨量將達到 15 億部，這些都對靜電吸盤市場的成長做出了重大貢獻。
• ESC 提供精確的晶圓處理，與機械卡盤相比，污染減少了 20%，這對於 300 毫米晶圓生產和 EUV 光刻等先進製程至關重要。
  • 例如，2024年，台灣台積電在其3nm晶片生產中整合了先進的ESC，將良率提高了15％。
• 隨著該地區繼續對半導體代工廠和電子產品進行投資，對 ESC 的需求不斷增長，以確保高精度製造。

機會

“太陽能電池板製造對ESC的需求不斷增長”

• 人們對再生能源的關注度日益增加，亞太地區的目標是到 2030 年生產全球 50% 的太陽能，這為推動太陽能板製造對 ESC 的需求提供了巨大的市場成長機會。
• ESC 支援薄膜太陽能電池生產中的精確處理，到 2025 年將使光伏製造的效率提高 10%。
  • 例如，2023年，一家中國太陽能板製造商採用ESC進行薄膜電池生產，將缺陷率降低了15%。
• 這一機會透過為再生能源應用提供可擴展且高效的解決方案來推動市場擴張。

克制/挑戰

“製造和維護成本高”

• 製造成本高，40% 的製造商認為陶瓷等先進材料是 2024 年的成本障礙，而確保 ESC 在高真空環境中的壽命的維護成本對市場構成了重大障礙。
• 這些挑戰需要在研發和維護協議方面進行大量投資，從而增加組織的成本。

例如，到 2024 年，30% 的亞洲小型晶圓廠將 ESC 維護成本高視為採用此技術的障礙。

• 這些問題可能會阻礙市場成長，因此需要具有成本效益且耐用的 ESC 解決方案。

靜電吸盤市場範圍

市場根據基礎材料、產品、電極、極柱和應用進行細分。

預計到 2025 年，半導體 LCD/CVD 領域將佔據市場主導地位，並在應用領域佔有最大份額

預計到 2025 年，半導體 LCD/CVD 領域將佔據歐洲靜電吸盤市場的主導地位，佔據 56.22% 的最大份額，這得益於該地區半導體製造和平板顯示器製造技術的日益普及。靜電卡盤對於在等離子蝕刻、CVD和光刻過程中準確固定晶圓至關重要，可確保精度和效率。對先進節點、EUV 微影和 OLED/LCD 顯示器的需求成長正在促進設備升級，並推動歐洲主要代工廠和 IDM 對高性能 ESC 的需求。

預計陶瓷產業將在預測期內佔據材料產業的最大份額

到 2025 年，陶瓷產業預計將佔據歐洲靜電吸盤市場的主導地位，佔據 51.31% 的最大市場份額，這歸功於陶瓷優異的導熱性、電絕緣性和機械強度（這是處理半導體加工中的極端環境的關鍵特性）。陶瓷 ESC 因其耐用性和與高溫等離子環境的兼容性而越來越多地用於先進的蝕刻和沈積工具中。

靜電吸盤市場國家分析

“英國佔靜電吸盤市場最大份額”

• 日本在亞太靜電吸盤市場佔據主導地位，這得益於其成熟的半導體製造業、晶圓加工設備的領先地位以及強大的本地供應鏈整合。
• 東京電子、愛發科和新光電氣等日本主要設備製造商在生產用於等離子蝕刻、CVD 和微影應用的靜電吸盤方面處於全球領先地位。
• 政府在半導體和數位產業戰略等措施下的大力支持，吸引了大量對國內晶片生產和工具開發的投資，進一步增強了 ESC 的需求。
• 2024 年，東京電子宣布擴建其山梨工廠，以滿足全球對先進晶圓加工工具日益增長的需求（ESC 技術的主要用戶），鞏固日本在區域市場的領先地位。

“預計德國將在靜電吸盤市場實現最高複合年增長率”

• 中國預計將見證亞太靜電吸盤市場的最高成長率，這得益於其快速擴張的半導體製造能力以及「中國製造2025」和國家積體電路投資基金等政府支持的舉措。
• 中芯國際、華虹等中國領先晶片製造商以及新進業者正在加大對 300 毫米晶圓廠的投資，這些晶圓廠在前端處理步驟中廣泛依賴靜電吸盤。
• 2024年，中國領先的半導體設備公司北方華創集團和中微半導體開始出口採用國產ESC的乾蝕刻和沈積設備，提高了本地供應鏈的自給自足能力。
• 正在進行的中美技術脫鉤加速了國內創新和國產晶圓處理系統的採用，使中國成為靜電吸盤解決方案的高成長市場。

靜電吸盤市場份額

市場競爭格局提供了競爭對手的詳細資訊。詳細資訊包括公司概況、公司財務狀況、收入、市場潛力、研發投資、新市場計劃、全球影響力、生產基地和設施、生產能力、公司優勢和劣勢、產品發布、產品寬度和廣度、應用優勢。以上提供的數據點僅與公司對市場的關注有關。

市場中主要的市場領導者有：

• 新光電氣工業株式會社（日本）
• 應用材料公司（美國）
• 京瓷公司（日本）
• TOTO株式會社（日本）
• NTK CERATEC 株式會社（日本）
• 住友大阪水泥有限公司（日本）
• 創意科技株式會社（日本）
• 筑波精工株式會社（日本）
• CoorsTek Inc.（美國）
• Entegris, Inc.（美國）

亞太地區靜電吸盤市場的最新發展

• 2025 年 3 月，靜電吸盤技術的主要參與者神光電氣工業株式會社宣佈在德國德勒斯登開設新的研發中心，旨在推進 EUV 光刻的晶圓處理系統和靜電吸盤設計。此舉支持了歐盟晶片法案倡議下歐洲不斷發展的半導體設備生態系統。
• 2025年1月，全球領先的半導體設備供應商Lam Research擴大了在奧地利菲拉赫的業務，投資重點是增強等離子蝕刻和沈積工具。這些工具整合了先進的 ESC 系統，對於處理用於 AI、汽車和 HPC 應用的下一代半導體晶圓至關重要。
• 2024 年 11 月，SEMITEC 公司與歐洲半導體 OEM 廠商合作，為高溫等離子處理提供以陶瓷為基礎的雙極靜電吸盤。該交易增強了 SEMITEC 在歐洲的地位，並滿足了對與 SiC 和 GaN 晶圓加工相容的強大 ESC 的需求。
• 2024年10月，應用材料公司宣布與比利時imec合作開發下一代靜電夾緊技術，以支援3奈米以下節點的半導體製造。此次合作旨在改善晶圓平整度控制和熱均勻性，這兩者對於保持 EUV 微影精度至關重要。
• 2024年8月，德國TRUMPF Hüttinger公司推出了針對等離子蝕刻機和CVD設備中使用的靜電吸盤優化的先進射頻電源系統。新系統增強了晶圓處理過程中的功率控制和溫度穩定性，解決了高深寬比蝕刻的挑戰。

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